江蘇晶圓切割3D形貌檢測機
分類：晶圓切割3D形貌檢測機 發(fā)布時間：2023-03-08 15507次瀏覽
晶圓切割3D形貌檢測機，專用行業(yè)檢測設(shè)備，自動化測量，操作便捷。
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江蘇晶圓切割3D形貌檢測機
晶圓切割3D形貌檢測機，專用行業(yè)檢測設(shè)備，自動化測量，操作便捷。
產(chǎn)品詳情
晶圓切割3D形貌檢測機應(yīng)用
（1）崩邊檢測
（2）溝槽深度掃描測量
（3）線條圖形掃描寬度提取
（4）測試位置可以自定義
晶圓切割3D形貌檢測機樣品測試數(shù)據(jù)
（1）槽深測量
（2）槽寬測量
（3）四個位置的測量結(jié)果
晶圓切割3D形貌檢測機樣品測試小結(jié)
（1）隨機選取四個鐳射槽的槽寬在53.4~57.7μm，槽深在20.9~25.9μm
（2）測量四個位置自動化所需時間約為2min
 |  |
| 槽內(nèi)干涉條紋圖 | 表面干涉條紋圖 |
樣品三維圖
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