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東莞晶圓切割3D形貌檢測機
東莞晶圓切割3D形貌檢測機

分類:晶圓切割3D形貌檢測機 發(fā)布時間:2023-03-08 15496次瀏覽

晶圓切割3D形貌檢測機,專用行業(yè)檢測設(shè)備,自動化測量,操作便捷。

東莞晶圓切割3D形貌檢測機

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產(chǎn)品詳情

晶圓切割3D形貌檢測機

 晶圓切割3D形貌檢測機應(yīng)用

(1)崩邊檢測

晶圓切割3D形貌檢測機崩邊檢測

(2)溝槽深度掃描測量

晶圓切割3D形貌檢測機溝槽深度掃描測量

(3)線條圖形掃描寬度提取

晶圓切割3D形貌檢測機線條圖形掃描寬度提取

(4)測試位置可以自定義

晶圓切割3D形貌檢測機測試位置可自定義

晶圓切割3D形貌檢測機樣品測試數(shù)據(jù)

(1)槽深測量

槽深測量

(2)槽寬測量

槽寬測量

(3)四個位置的測量結(jié)果

晶圓切割3D形貌檢測機測量結(jié)果


晶圓切割3D形貌檢測機樣品測試小結(jié)

(1)隨機選取四個鐳射槽的槽寬在53.4~57.7μm,槽深在20.9~25.9μm

(2)測量四個位置自動化所需時間約為2min

測量結(jié)果

槽內(nèi)干涉條紋圖表面干涉條紋圖
槽內(nèi)干涉條紋圖表面干涉條紋圖

樣品三維圖

QQ截圖20230308133637.jpg

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