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湖北晶圓切割3D形貌檢測(cè)機(jī)
湖北晶圓切割3D形貌檢測(cè)機(jī)

分類:晶圓切割3D形貌檢測(cè)機(jī) 發(fā)布時(shí)間:2023-03-08 15487次瀏覽

晶圓切割3D形貌檢測(cè)機(jī),專用行業(yè)檢測(cè)設(shè)備,自動(dòng)化測(cè)量,操作便捷。

湖北晶圓切割3D形貌檢測(cè)機(jī)

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產(chǎn)品詳情

晶圓切割3D形貌檢測(cè)機(jī)

 晶圓切割3D形貌檢測(cè)機(jī)應(yīng)用

(1)崩邊檢測(cè)

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(2)溝槽深度掃描測(cè)量

晶圓切割3D形貌檢測(cè)機(jī)溝槽深度掃描測(cè)量

(3)線條圖形掃描寬度提取

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(4)測(cè)試位置可以自定義

晶圓切割3D形貌檢測(cè)機(jī)測(cè)試位置可自定義

晶圓切割3D形貌檢測(cè)機(jī)樣品測(cè)試數(shù)據(jù)

(1)槽深測(cè)量

槽深測(cè)量

(2)槽寬測(cè)量

槽寬測(cè)量

(3)四個(gè)位置的測(cè)量結(jié)果

晶圓切割3D形貌檢測(cè)機(jī)測(cè)量結(jié)果


晶圓切割3D形貌檢測(cè)機(jī)樣品測(cè)試小結(jié)

(1)隨機(jī)選取四個(gè)鐳射槽的槽寬在53.4~57.7μm,槽深在20.9~25.9μm

(2)測(cè)量四個(gè)位置自動(dòng)化所需時(shí)間約為2min

測(cè)量結(jié)果

槽內(nèi)干涉條紋圖表面干涉條紋圖
槽內(nèi)干涉條紋圖表面干涉條紋圖

樣品三維圖

QQ截圖20230308133637.jpg

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