亞洲精品無碼久久_多人性战交疯狂派对_jizz国产大全视频免费_国产视频最新_无码精品日韩网站视频_yw网站在线观看不卡_国产三级片中文字幕_欧美一区免费观看_aaa在线播放天堂亚洲_午夜精品一区

您好!歡迎您訪問"蘇州工業(yè)園區(qū)匯光科技有限公司"企業(yè)網(wǎng)站!

咨詢熱線
HOTLINE

18962209715
0512-67625945

無(wú)錫半導(dǎo)體膜厚儀
無(wú)錫半導(dǎo)體顯微膜厚儀 HSR-M

分類:半導(dǎo)體膜厚儀 發(fā)布時(shí)間:2024-09-25 2027次瀏覽

本設(shè)備利用反射干涉的原理進(jìn)行無(wú)損測(cè)量,測(cè)量吸收或者透明襯底上薄膜的厚度以及折射率,同時(shí)提供樣品反射率,測(cè)量精度達(dá)到埃級(jí)的分辨率,測(cè)量迅速,操作簡(jiǎn)單,界面友好,搭配顯微成像系統(tǒng),配置兼容六寸的手動(dòng)樣品臺(tái),可對(duì)待測(cè)樣品表面的某些微小限定區(qū)域進(jìn)行測(cè)量測(cè)量。

無(wú)錫半導(dǎo)體顯微膜厚儀 HSR-M

本設(shè)備利用反射干涉的原理進(jìn)行無(wú)損測(cè)量,測(cè)量吸收或者透明襯底上薄膜的厚度以及折射率,同時(shí)提供樣品反射率,測(cè)量精度達(dá)到埃級(jí)的分辨率,測(cè)量迅速,操作簡(jiǎn)單,界面友好,搭配顯微成像系統(tǒng),配置兼容六寸的手動(dòng)樣品臺(tái),可對(duì)待測(cè)樣品表面的某些微小限定區(qū)域進(jìn)行測(cè)量測(cè)量。

產(chǎn)品詳情

設(shè)備精度高達(dá) 1 埃,測(cè)量穩(wěn)定性高達(dá) 0.02nm,測(cè)量時(shí)間只需一到二秒??蓱?yīng)用于光阻、半導(dǎo)體材料、高分子材料等薄膜層的厚度測(cè)量,在半導(dǎo)體、太陽(yáng)能、液晶面板和光學(xué)行業(yè)以及科研院所和高校都得到了廣泛的應(yīng)用和極大的好評(píng)。


測(cè)量系統(tǒng)規(guī)格


1、膜厚測(cè)頭指標(biāo):

1) 基本功能:獲取薄膜厚度值以及 R、N/K 等光譜

2) *光譜范圍:380-900nm

3) 光譜分辨率:小于 1nm(波長(zhǎng)間隔)

4) 物鏡標(biāo)準(zhǔn)倍率切換規(guī)格:5×、10×、20×、50×(光纖孔徑:200um)

5) 光斑大小:4um(50X 物鏡)、10um(20X 物鏡)、20um(10X 物鏡)、40um(5X 物鏡)可選(根據(jù)配置的物鏡切換光斑大小)

6) *膜厚量測(cè)范圍與倍率關(guān)系:20nm-50μm(5X)

20nm~40μm(10X)

20nm~20μm(20X)

20nm~10μm(50X)

7) 測(cè)量精度:0.2%和 1nm 較大者(不同倍率一致);

8) 配置 CCD 鏡頭,可定位識(shí)別待測(cè)區(qū)域

9) *重復(fù)性精度:0.02nm(100nm 硅基 SiO2 樣件,100 次重復(fù)測(cè)量)

10) *厚度擬合算法:至少擁有 Exact,Robust 和 FFT 三種厚度擬合算法

11) 測(cè)量 n 和 k 值厚度要求:100nm 以上

12) 單點(diǎn)測(cè)量時(shí)間:≤1 秒

13) 光源:鎢鹵燈(2000 小時(shí)壽命)

14) 基板尺寸:更大支持樣件尺寸到 150*150mm 


半導(dǎo)體顯微膜厚儀 HSR-M.png


2、樣品臺(tái)規(guī)格:

1) 可測(cè)晶圓大?。? 寸&6 寸

2) 載物臺(tái)移動(dòng)范圍:不小于 150mm? 150mm

3) 手動(dòng)放片,測(cè)量點(diǎn)數(shù)跟位置在 Recipe 中可根據(jù)需要編輯


3、測(cè)控與分析軟件

1) 光譜測(cè)量能力:反射率光譜測(cè)量

2) 數(shù)據(jù)分析能力:膜厚分析能力,光學(xué)常數(shù)(折射率和消光系數(shù))

3) 分析軟件:擁有不小于 100 種不同材料的數(shù)據(jù)庫(kù),可自由導(dǎo)入新材料文件;

可進(jìn)行不同鍍膜材料的建模,模擬鍍膜膜系的反射率曲線;軟件界面人性化

設(shè)計(jì),測(cè)試數(shù)據(jù)能夠方便的儲(chǔ)存和導(dǎo)出;免費(fèi)提供針對(duì)不同材質(zhì)測(cè)試的 Recipe

程式,并可以新增新材質(zhì)的 recipe;具有膜厚自校準(zhǔn)標(biāo)定功能,配備相應(yīng)標(biāo)

準(zhǔn)器;至少 5 個(gè)軟件授權(quán)許可 License 支持用戶自定義,軟件不限制拷貝數(shù)量,

支持 windows 10 操作系統(tǒng)


4、測(cè)控與分析計(jì)算機(jī)

1) 操作系統(tǒng):WIN10 64 位

2) CPU 處理器:Intel 酷睿處理器

3) 內(nèi)存:≥4G

4) 硬盤:≥500G

5) 顯示器:≥19 寸


5、配件

1) 標(biāo)準(zhǔn) SiO2/Si 標(biāo)樣

2) 標(biāo)準(zhǔn)安裝工具一套


6、環(huán)境與能源要求

1) 使用溫度范圍:0 oC - 40 oC

2) 相對(duì)濕度:35% ~ 60% RH

3) 空氣壓力范圍:750~1014 mbar

4) 供電電源電壓:220V AC

5) 正常頻率范圍:49-51Hz

6) 相電流:有效值小于 1A(220V AC)


上一篇:沒有了

下一篇:無(wú)錫半導(dǎo)體反射膜厚儀 HSR-C

相關(guān)標(biāo)簽:
版權(quán)所有:蘇州工業(yè)園區(qū)匯光科技有限公司 蘇ICP備18008002備 技術(shù)支持:蘇州榮邦
蘇州工業(yè)園區(qū)匯光科技有限公司主營(yíng)顯微鏡半導(dǎo)體顯微鏡,金相顯微鏡,測(cè)量顯微鏡,工業(yè)顯微鏡xml地圖 htm地圖 txt地圖
×