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山東半導(dǎo)體膜厚儀
山東半導(dǎo)體反射膜厚儀 HSR-Mapping

分類(lèi):半導(dǎo)體膜厚儀 發(fā)布時(shí)間:2024-09-25 1939次瀏覽

本設(shè)備利用反射干涉的原理進(jìn)行無(wú)損測(cè)量,通過(guò)分析薄膜表面反射光和薄膜與基底界面反射光相干涉形成的反射譜,同時(shí)搭配 R-Theta 位移臺(tái),兼容 6 到 12 寸樣品,可以對(duì)整個(gè)樣品進(jìn)行快速掃描,快速準(zhǔn)確測(cè)量薄膜厚度、光學(xué)常數(shù)等信息,并對(duì)于膜厚均勻性做出評(píng)價(jià)。

山東半導(dǎo)體反射膜厚儀 HSR-Mapping

本設(shè)備利用反射干涉的原理進(jìn)行無(wú)損測(cè)量,通過(guò)分析薄膜表面反射光和薄膜與基底界面反射光相干涉形成的反射譜,同時(shí)搭配 R-Theta 位移臺(tái),兼容 6 到 12 寸樣品,可以對(duì)整個(gè)樣品進(jìn)行快速掃描,快速準(zhǔn)確測(cè)量薄膜厚度、光學(xué)常數(shù)等信息,并對(duì)于膜厚均勻性做出評(píng)價(jià)。

產(chǎn)品詳情

半導(dǎo)體反射膜厚儀 HSR-Mapping 技術(shù)參數(shù)


1、HSR-Mapping 規(guī)格:

1) 基本功能:獲取薄膜厚度值以及 R、N/K 等光譜

2) 光譜分析范圍:380nm-1000nm

3) 測(cè)量光斑大?。?lt;1.5mm

4) 膜厚重復(fù)性測(cè)量精度:0.02nm(100nm 硅基 SiO2 樣件,100 次重復(fù)測(cè)量)

5) 膜厚精度:0.2%或 2nm 之間較大者

6) 膜厚穩(wěn)定性:優(yōu)于 0.05nm

7) 膜厚測(cè)量范圍:15nm~70um

8) 測(cè)量 n 和 k 值厚度要求:100nm 以上

9) 樣品臺(tái):自動(dòng)化 R-Theta 移動(dòng)平臺(tái),樣品臺(tái)直徑不小于 300mm

10) *測(cè)試方式:任意多點(diǎn)自動(dòng)化測(cè)試,生成厚度 Mapping 圖(1.圓形/方形,2.放射形,3.中心或邊緣排除,4.定制(按樣品需要編輯坐標(biāo)點(diǎn)))

11) *測(cè)試速度(含有真空夾盤(pán)):5 個(gè)點(diǎn) 5 秒,25 個(gè)點(diǎn) 20 秒,57 個(gè)點(diǎn) 56 秒

12) 光源:標(biāo)準(zhǔn)鹵素光源(壽命 2000 小時(shí))

13) 反射率模擬:可進(jìn)行不同鍍膜材料的建模,模擬鍍膜膜系的反射率曲線

14) 分析軟件:多達(dá)數(shù)百種的光學(xué)材料常數(shù)數(shù)據(jù)庫(kù),并支持用戶自定義光學(xué)材料庫(kù);提供多層各向同性光學(xué)薄膜建模仿真與分析功能


半導(dǎo)體反射膜厚儀 HSR-Mapping.png


2、樣品臺(tái)規(guī)格:

1) 可測(cè)晶圓大?。? 寸 & 6 寸 & 8 寸& 12 寸

2) 晶圓固定方式:真空吸附

3) 載物臺(tái)移動(dòng)范圍:不小于 300mm? 300mm

4) 支持手動(dòng)放片,自動(dòng) mapping 測(cè)量,測(cè)量點(diǎn)數(shù)跟位置在 Recipe 中可根據(jù)需要編輯


3、測(cè)控與分析軟件

1) 光譜測(cè)量能力:反射率光譜測(cè)量

2) 數(shù)據(jù)分析能力:膜厚分析能力,光學(xué)常數(shù)(折射率和消光系數(shù))

3) 軟件使用 Windows 平臺(tái),設(shè)置不同級(jí)別的用戶登錄,如(Manager/Operator)等:別用戶可以修改 Recipe;Operator 只能運(yùn)行已有的 Recipe

4) 以文字或圖形的方式顯示當(dāng)前正在運(yùn)行的 Recipe 名、測(cè)量位置編號(hào)、剩余時(shí)間等參數(shù)

5) 軟件具有歷史記錄功能,可存儲(chǔ)歷史記錄文件

6) 軟件可以根據(jù)需求設(shè)備測(cè)量點(diǎn)數(shù)

7) 可以生成 2D 或者 3D 圖形

8) 繪圖功能:Mapping(contour),Line 等

9) 統(tǒng)計(jì)功能:Max, Min, Average, Median, STD 等

10) 輸出數(shù)據(jù)形式可定制,格式為 CSV 或 EXCEL 格式


4、測(cè)控與分析計(jì)算機(jī)

1) 操作系統(tǒng):WIN10 64 位

2) CPU 處理器:Intel 酷睿 I5

3) 內(nèi)存:≥4G

4) 硬盤(pán):≥500G

5) 顯示器:≥19 寸


5、配件

1) 標(biāo)準(zhǔn) SiO2/Si 標(biāo)樣

2) 標(biāo)準(zhǔn)安裝工具一套


6、環(huán)境要求

1) 承載臺(tái):尺寸>1.0m(長(zhǎng))×0.7m(寬),承載能力大于 30Kg(建議光學(xué)隔振)

2) 使用溫度范圍:20 ~ 26 ℃

3) 相對(duì)濕度:35% ~ 60% RH

4) 空氣壓力范圍:750~1014 mbar

5) 潔凈度: Class 1000


7、能源要求

1) 供電電源電壓:220V AC

2) 正常頻率范圍:49-51Hz

3) 相電流:有效值小于 0.5A(220V AC)

4) 功率:小于 400 W 


8、涂裝與表面處理

1) 涂裝顏色:以灰白色為主

2) 表面處理:鍍化學(xué)鎳、陽(yáng)極處理、烤漆等


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