分類：半導(dǎo)體膜厚儀 發(fā)布時(shí)間：2024-09-25 1951次瀏覽
本設(shè)備利用反射干涉的原理進(jìn)行無(wú)損測(cè)量，通過(guò)分析薄膜表面反射光和薄膜與基底界面反射光相干涉形成的反射譜，同時(shí)搭配 R-Theta 位移臺(tái)，兼容 6 到 12 寸樣品，可以對(duì)整個(gè)樣品進(jìn)行快速掃描，快速準(zhǔn)確測(cè)量薄膜厚度、光學(xué)常數(shù)等信息，并對(duì)于膜厚均勻性做出評(píng)價(jià)。
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本設(shè)備利用反射干涉的原理進(jìn)行無(wú)損測(cè)量，通過(guò)分析薄膜表面反射光和薄膜與基底界面反射光相干涉形成的反射譜，同時(shí)搭配 R-Theta 位移臺(tái)，兼容 6 到 12 寸樣品，可以對(duì)整個(gè)樣品進(jìn)行快速掃描，快速準(zhǔn)確測(cè)量薄膜厚度、光學(xué)常數(shù)等信息，并對(duì)于膜厚均勻性做出評(píng)價(jià)。
產(chǎn)品詳情
半導(dǎo)體反射膜厚儀 HSR-Mapping 技術(shù)參數(shù)
1、HSR-Mapping 規(guī)格：
1) 基本功能：獲取薄膜厚度值以及 R、N/K 等光譜
2) 光譜分析范圍：380nm-1000nm
3) 測(cè)量光斑大?。?lt;1.5mm
4) 膜厚重復(fù)性測(cè)量精度：0.02nm（100nm 硅基 SiO2 樣件，100 次重復(fù)測(cè)量）
5) 膜厚精度：0.2%或 2nm 之間較大者
6) 膜厚穩(wěn)定性：優(yōu)于 0.05nm
7) 膜厚測(cè)量范圍：15nm~70um
8) 測(cè)量 n 和 k 值厚度要求：100nm 以上
9) 樣品臺(tái)：自動(dòng)化 R-Theta 移動(dòng)平臺(tái)，樣品臺(tái)直徑不小于 300mm
10) *測(cè)試方式：任意多點(diǎn)自動(dòng)化測(cè)試，生成厚度 Mapping 圖（1.圓形/方形，2.放射形，3.中心或邊緣排除，4.定制（按樣品需要編輯坐標(biāo)點(diǎn)））
11) *測(cè)試速度（含有真空夾盤）：5 個(gè)點(diǎn) 5 秒,25 個(gè)點(diǎn) 20 秒,57 個(gè)點(diǎn) 56 秒
12) 光源：標(biāo)準(zhǔn)鹵素光源（壽命 2000 小時(shí)）
13) 反射率模擬：可進(jìn)行不同鍍膜材料的建模，模擬鍍膜膜系的反射率曲線
14) 分析軟件：多達(dá)數(shù)百種的光學(xué)材料常數(shù)數(shù)據(jù)庫(kù)，并支持用戶自定義光學(xué)材料庫(kù)；提供多層各向同性光學(xué)薄膜建模仿真與分析功能
2、樣品臺(tái)規(guī)格：
1) 可測(cè)晶圓大?。? 寸 & 6 寸 & 8 寸& 12 寸
2) 晶圓固定方式：真空吸附
3) 載物臺(tái)移動(dòng)范圍：不小于 300mm? 300mm
4) 支持手動(dòng)放片，自動(dòng) mapping 測(cè)量，測(cè)量點(diǎn)數(shù)跟位置在 Recipe 中可根據(jù)需要編輯
3、測(cè)控與分析軟件
1) 光譜測(cè)量能力：反射率光譜測(cè)量
2) 數(shù)據(jù)分析能力：膜厚分析能力，光學(xué)常數(shù)（折射率和消光系數(shù)）
3) 軟件使用 Windows 平臺(tái)，設(shè)置不同級(jí)別的用戶登錄，如（Manager/Operator）等：別用戶可以修改 Recipe；Operator 只能運(yùn)行已有的 Recipe
4) 以文字或圖形的方式顯示當(dāng)前正在運(yùn)行的 Recipe 名、測(cè)量位置編號(hào)、剩余時(shí)間等參數(shù)
5) 軟件具有歷史記錄功能，可存儲(chǔ)歷史記錄文件
6) 軟件可以根據(jù)需求設(shè)備測(cè)量點(diǎn)數(shù)
7) 可以生成 2D 或者 3D 圖形
8) 繪圖功能：Mapping（contour），Line 等
9) 統(tǒng)計(jì)功能：Max, Min, Average, Median, STD 等
10) 輸出數(shù)據(jù)形式可定制，格式為 CSV 或 EXCEL 格式
4、測(cè)控與分析計(jì)算機(jī)
1) 操作系統(tǒng)：WIN10 64 位
2) CPU 處理器：Intel 酷睿 I5
3) 內(nèi)存：≥4G
4) 硬盤：≥500G
5) 顯示器：≥19 寸
5、配件
1) 標(biāo)準(zhǔn) SiO2/Si 標(biāo)樣
2) 標(biāo)準(zhǔn)安裝工具一套
6、環(huán)境要求
1) 承載臺(tái)：尺寸>1.0m（長(zhǎng)）×0.7m（寬），承載能力大于 30Kg（建議光學(xué)隔振）
2) 使用溫度范圍：20 ~ 26 ℃
3) 相對(duì)濕度：35% ~ 60% RH
4) 空氣壓力范圍：750~1014 mbar
5) 潔凈度： Class 1000
7、能源要求
1) 供電電源電壓：220V AC
2) 正常頻率范圍：49-51Hz
3) 相電流：有效值小于 0.5A（220V AC）
4) 功率：小于 400 W
8、涂裝與表面處理
1) 涂裝顏色：以灰白色為主
2) 表面處理：鍍化學(xué)鎳、陽(yáng)極處理、烤漆等
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