隨著半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展，晶圓搬送機(jī)設(shè)計(jì)也更加滿足產(chǎn)線檢測(cè)需求，為了讓大家更好的了解什么是晶圓搬送機(jī)，匯光科技小編給大家簡(jiǎn)單介紹舜宇晶圓搬送機(jī)AWL812工作流程。
1、FOUP裝載晶圓。晶圓搬送機(jī)AWL812可選擇不同類(lèi)型的晶圓盒，通過(guò)掃碼槍?zhuān)煽焖贉?zhǔn)確識(shí)別不同的晶圓卡匣。
2、完成Wafer傳片工作。采用雙手臂四軸機(jī)械師，可自動(dòng)取放晶圓。
3、對(duì)Wafer進(jìn)行自動(dòng)準(zhǔn)確Notch/平邊定位，Wafer ID讀取。
4、Wafer宏觀檢查。通過(guò)操作桿可觀察晶圓正面、背面檢查，包括Wafer邊緣，中心檢查等，可輕松檢出晶圓表面臟污、缺陷等。
5、Wafer微觀檢測(cè)。用高倍顯微鏡進(jìn)行檢測(cè)分析，采用專(zhuān)用分析軟件，支持多種觀察方式，可排查微米級(jí)異常。
晶圓搬送機(jī)AWL812采用全新電動(dòng)控制系統(tǒng)，支持4~12寸Wafer檢測(cè)，大大提高檢測(cè)效率，值得推薦。
現(xiàn)如今，品牌晶圓搬送機(jī)并不多，奧林巴斯晶圓搬送機(jī)、國(guó)產(chǎn)舜宇晶圓搬送機(jī)大家都可以多了解，穩(wěn)定性高，適用于多種尺寸Wafer檢測(cè)，我司授權(quán)代理，也做過(guò)許多相關(guān)案例，真誠(chéng)期待與您合作。
