隨著半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展,晶圓搬送機(jī)設(shè)計(jì)也更加滿足產(chǎn)線檢測(cè)需求,為了讓大家更好的了解什么是晶圓搬送機(jī),匯光科技小編給大家簡(jiǎn)單介紹舜宇晶圓搬送機(jī)AWL812工作流程。
1、FOUP裝載晶圓。晶圓搬送機(jī)AWL812可選擇不同類型的晶圓盒,通過掃碼槍,可快速準(zhǔn)確識(shí)別不同的晶圓卡匣。
2、完成Wafer傳片工作。采用雙手臂四軸機(jī)械師,可自動(dòng)取放晶圓。
3、對(duì)Wafer進(jìn)行自動(dòng)準(zhǔn)確Notch/平邊定位,Wafer ID讀取。
4、Wafer宏觀檢查。通過操作桿可觀察晶圓正面、背面檢查,包括Wafer邊緣,中心檢查等,可輕松檢出晶圓表面臟污、缺陷等。
5、Wafer微觀檢測(cè)。用高倍顯微鏡進(jìn)行檢測(cè)分析,采用專用分析軟件,支持多種觀察方式,可排查微米級(jí)異常。
晶圓搬送機(jī)AWL812采用全新電動(dòng)控制系統(tǒng),支持4~12寸Wafer檢測(cè),大大提高檢測(cè)效率,值得推薦。
現(xiàn)如今,品牌晶圓搬送機(jī)并不多,奧林巴斯晶圓搬送機(jī)、國(guó)產(chǎn)舜宇晶圓搬送機(jī)大家都可以多了解,穩(wěn)定性高,適用于多種尺寸Wafer檢測(cè),我司授權(quán)代理,也做過許多相關(guān)案例,真誠(chéng)期待與您合作。