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南京晶圓厚度形貌測量儀
南京晶圓厚度形貌測量儀

分類:晶圓厚度形貌測量儀 發(fā)布時間:2022-01-08 15201次瀏覽

晶圓厚度形貌測量儀有半自動或全自動版本,大家可根據需求選購。

南京晶圓厚度形貌測量儀

晶圓厚度形貌測量儀有半自動或全自動版本,大家可根據需求選購。

產品詳情

●根據具體應用場景,配備多種傳感器及算法模塊,穩(wěn)定高效的完成所需的測量工作。

●可針對某一層進行厚度采集,也可智能剔除不需要的表面結構(如錫 球,銅柱)所帶來的厚度測量影響。 

●可自如應對多層結構,翹曲片等特殊場景。

晶圓厚度形貌測量儀

●測厚標準模塊

(1)通過上下傳感器同步測試樣品上下表面,進行厚度測量

(2)如產品材質(如崩膜,玻璃,硅片) 紅外光可穿透的話,可以只用單面?zhèn)鞲衅鬟M行測量

QQ截圖20230308094027.jpg

●粗糙度測量模塊

(1)基于白光干涉測頭的粗糙度測量方式

(2)標配10X干涉鏡頭

(3)粗糙度范圍:1nm~1um

(4)粗糙度重復精度0.01nm

晶圓厚度形貌測量儀粗糙度檢測

晶圓厚度形貌測量儀配置清單 

部    件

規(guī)    格

測量光學系統(tǒng)

定制測厚模組(針對非翹曲晶圓,翹曲度<500um,厚度50-2000um兼容):

上下定制測量傳感器1套2個

單個探頭分辨率0.01um

單個探頭測量精度0.1um

翹曲<200um,測厚系統(tǒng)精度+/-0.5 um

翹曲200-500um,測厚系統(tǒng)精度+/-1 um

 

粗糙度模組(選配加裝模塊):

白光干涉?zhèn)鞲衅鳎?0X物鏡

探頭垂直分辨率0.1nm

粗糙度RMS重復性:0.01nm 

運動平臺

定制大理石基底水平載物臺,支持8,12寸Wafer和帶環(huán)Wafer

載臺挖孔排列和已有設備匹配

X軸: 行程 350mm,光柵尺定位,定位精度 +/-1um

Y軸: 行程 350mm,光柵尺定位,定位精度 +/-1um 

計算機及軟件系統(tǒng)

Intel i5處理器,16G 內存,512GB SSD 系統(tǒng)盤 + 1TB 數據備份盤

24寸顯示器1臺及鼠鍵套裝

定制檢測軟件系統(tǒng),包含數據庫管理系統(tǒng)

掃描路徑自動規(guī)劃功能,采點路徑可兼容目前已有機臺。

Excel報表生成功能

可對接廠內服務器進行數據上傳,SECS/GEM協(xié)議標準

多級系統(tǒng)賬號權限:工程師/技術員/操作員

系統(tǒng)狀態(tài)監(jiān)控:狀態(tài)/錯誤事件信息/異常報警

可定制測量Recipe

雙硬盤數據備份

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