分類：工業(yè)型原子力顯微鏡 發(fā)布時間：2023-03-16 18597次瀏覽
工業(yè)型原子力顯微鏡AFM主要應用于2~8inch晶圓表面形貌的綜合檢測。更多詳情請繼續(xù)瀏覽本欄目。
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工業(yè)型原子力顯微鏡AFM主要應用于2~8inch晶圓表面形貌的綜合檢測。更多詳情請繼續(xù)瀏覽本欄目。
產(chǎn)品詳情
工業(yè)型原子力顯微鏡AFM針對產(chǎn)品表面的形貌如粗糙度、局部微觀輪廓等有 納米尺度的檢測能力，提供原子或近原子及分辨率的表面形貌圖像。
工業(yè)型原子力顯微鏡AFM的掃面原理是利用針尖原子與樣品表面原子間存在極微弱的范德華力，得到樣品三維表面形態(tài)影像，包括能夠定量樣品的表面粗糙度 到?等級，此外工業(yè)型原子力顯微鏡AFM還能獲得納米級微觀結構形貌以及表面微觀缺陷等詳細信息。
工業(yè)型原子力顯微鏡AFM應用案例
●硅晶圓表面刻蝕不規(guī)則深孔結構
●SiC晶圓片（碳化硅）
●GaAs晶圓片（砷化鎵）
●GaN晶圓片（氮化鎵）
●藍寶石外延片（Al2O3）
●玻璃面板、光學玻璃
●微光學器件
●芯片刻蝕結構
●高深寬比光柵
想了解更多工業(yè)型原子力顯微鏡檢測案例的朋友，歡迎您電話咨詢匯光科技0512-67625945.
工業(yè)型原子力顯微鏡技術要求
| 技術參數(shù) | 設備 |
| 工作模式 | 1. 輕敲模式（Tapping mode) 2. 接觸模式（Contact mode） 3. 力曲線測量模式（F-Z 曲線，RMS-Z 曲線） |
| 工作方式 | XYZ 三軸均采用壓電陶瓷驅動探針針尖進行掃描，工作掃描時樣品保持不動，樣品大小及重量完全不受掃描器的限制 |
| 激光掃描頭 | 1. 掃描器：三軸分離式掃描器 2. 掃描范圍：XY 方向≥100um*100um，Z 方向≥10um 3. 噪音水平：系統(tǒng)高度噪音 RMS≤0.05nm 4. 激光器：波長 650nm，光功率≤0.5mW 5. 光電探測器：波長帶寬 400~1100nm，靈敏度 6mV/nm |
| XY樣品臺裝置 | 真空吸附式樣品載物臺，直徑≥200mm；可測試更大樣品直徑≥250mm，更大重量≥15kg； 步進電機驅動控制，可任意編程測試點；樣品邊緣位置測量精度及分 辨率與中心位置保持一致，完全不受樣品臺移動影響；樣品臺移動行 程 2000*200mm，重復定位精度 PV 值≤1μm |
| Z向進針系統(tǒng) | 樣品趨近方式，智能自動進針，步進馬達加壓電陶瓷自動探測的智能進針，Z 軸升降行程 15mm |
| 手輪搖桿裝置 | 通過手輪搖桿可六個自由度任意控制樣品臺的移動和樣品的升降，方向和速度均可根據(jù)手感來調(diào)節(jié) |
| 輔助光學系統(tǒng) | 原位光學觀測系統(tǒng)，便于原位觀測和選取測試區(qū)域；同軸照明光源設 計；10X 光學物鏡和數(shù)字放大；光學顯微較小分辨率≤1μm |
| 整機光電結構 | 龍門架式大理石結構，穩(wěn)定可靠，避免了懸臂梁結構的彈性振動；水平和垂直方向均做了機械平衡性設計，有效降低剛性結構的固有頻率 |
| 防震隔音系統(tǒng) | 日本進口氣浮式減震臺，固有頻率低至 1.5Hz，密閉式隔音箱系統(tǒng)， 使整臺原子力顯微鏡儀器都處在密閉的隔音箱體內(nèi)部工作，可有效抑 |
| 控制器系統(tǒng) | 內(nèi)置 DSP 處理器，嵌入式 PID 自整定智能調(diào)節(jié)器，無需手動設置，系統(tǒng)自動整定優(yōu)化參數(shù)，以 DSP 技術為基礎實現(xiàn)完全數(shù)字反饋控制系統(tǒng) |
| 在線控制軟件 | 具備接觸、輕敲、抬高等多種掃描模式，多種掃描控制、多通道信號同時采集和顯示、具備實時在線圖像重構及測量等功能 |
| 圖像分析軟件 | 具有數(shù)據(jù)導出功能，用戶可取得原始數(shù)據(jù)；圖像同步功能，可指定多達 4 個相關圖像同步處理；用戶任意定義的 24 位系統(tǒng)調(diào)色板；圖像 |
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