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MS系列精密測量顯微鏡結合了金相顯微鏡的高倍觀察能力和影像測量儀的X、Y、Z 軸表面尺寸測量功能,具備明暗場、微分干涉、偏光等多種觀察功能??蓮V泛應用于半導體、PCB、LCD、手機產業(yè)鏈、光通訊、基礎電子、模具五金、醫(yī)療器械、汽車行業(yè)、計量行業(yè)等領域的檢測。
產品詳情
MS系列精密合肥測量顯微鏡,為實現(xiàn)強大的測量功能而研制,擁有值得信賴的品質和技術
●仰角可調觀察筒
觀察筒角度可在3-35度范圍內任意調整。無論是站立或坐著,都能很大限度滿足用戶的操作需求,同時也無需擔憂用戶的身高差異。
●大行程載物臺
有多種行程的載物臺可供選擇:
MS210A平臺行程200 (X) mm x 100 (Y) mm,
MS320A平臺行程300 (X) mm x 200 (Y) mm,
MS330A平臺行程300 (X) mm x 300 (Y) mm,
MS430A平臺行程400 (X) mm x 300 (Y) mm,
不管是大樣品還是小樣品,都能滿足用戶的測量需求。若用戶有別的需求,也可按需求定制平臺。
●精密測量工具
MS系列精密合肥測量顯微鏡采用0.1μm讀數(shù)的3軸測量系統(tǒng),Z軸zui大行程可至170mm,利用集成在機架上的高精度電動控制Z軸。三檔不同調速可供選擇,調焦可操作性強,提供效率,降低疲勞。
●獨立裂像光源輔助對焦
可根據(jù)樣品不同背景進行光源亮度調節(jié),清晰準確顯示zui佳焦面。有兩種裂像圖案可供選擇,并隨意切換。
●功能高度集成的一體式設計
一體式工作桌,既預留了臺式主機的位置,又帶有可收起的鍵盤抽屜,整體外觀整潔、舒服。各類可操作部位觸手可及,操作輕松方便。符合人體工程學,使用者無需站立,便可輕松實行操作。
●自主研發(fā)測量軟件
MS系列精密測量顯微鏡配備了操作簡單,功能強大的測量軟件,客戶可根據(jù)需要設置測試偏好。軟件附帶了各類手動取點與自動取點的測量功能,適用范圍更廣,即使對復雜的形狀,也可以進行高精度的測量。
●應用領域
MS系列精密測量顯微鏡配置參數(shù)
型號 | MS210A | MS320A | MS330A | MS430A |
光學系統(tǒng) | 無限遠光學系統(tǒng) | |||
觀察頭 | 5°~35°傾角可調,正像,無限遠鉸鏈三目觀察筒,瞳距調節(jié)范圍:50mm~76mm;兩檔式分光比:100:0,0:100 | |||
目鏡 | 高眼點大視野平場目鏡PL10X/22mm,可視度可調,可帶測微尺 | |||
轉換器 | 六孔電動轉換器(帶DIC插槽),明暗場六孔電動轉換器(帶DIC插槽) | |||
物鏡 | 無限遠長工作距平場消色差金相物鏡5X、10X、 20X、 50X、 100x | |||
無限遠長工作距平場明暗場消色差金相物鏡5X、10X、 20X | ||||
無限遠長工作距明暗場半復消金相物鏡50X、100X | ||||
放大倍率 | 光學放大倍率: 50X-1000X;系統(tǒng)放大倍率:135X~2700X | |||
測量顯微鏡主體 | 手動測量平臺,行程200(X) mm x 100 (Y)mm, X/Y測量精度;(2+L/100) um,平臺包含快速移動裝置及微調裝置,更大承載重量:10KG,帶z軸電動調焦,電動控制器, Z軸行程150mm, 更大行程170mm,Z軸重復定位精度±2um; | 手動測量平臺,行程300(X) mm x200 (Y)mm,XY測量精度;(3+L/100) um,平臺包含快速移動裝置及微調裝置,更大承載重量:15KG,帶z軸電動調焦,電動控制器, Z軸行程150mm,更大行程160mm, Z軸重復定位精度±2um; | 手動測量平臺,行程300(X) mm x300 (Y)mm,XY測量精度;(3+L/100) um,平臺包含快速移動裝置及微調裝置,更大承載重量:20KG,帶z軸電動調焦,電動控制器, Z軸行程150mm, Z軸重復定位精度±2um; | 手動測量平臺,行程400(X) mm x300 (Y)mm,XY測量精度;(3+L/100) um,平臺包含快速移動裝置及微調裝置,更大承載重量:20KG,帶z軸電動調焦,電動控制器, Z軸行程150mm, Z軸重復定位精度±2um; |
照明系統(tǒng) | 明暗場反射照明器,帶明、暗場照明器切換裝置,普濾色片插槽與偏光裝置插槽,帶5W LED燈源,亮度均可調 | |||
輔助對焦模塊,帶明、暗光楔模切換裝置,帶綠光5W LED燈源(含100V-240V寬電壓, 5W LED控制器, | ||||
調焦方式 | 電動控制器,帶自動/手動乙軸調焦,獨立控制上/下/輔助對焦三種光源,支持亮度可調,包含x/y/z單獨清零及一健清零,電動控制轉換器,配置乙軸運動急停按鍵 | |||
相機 | 德國進口的映美精相機,靶面尺寸: 1/1.8 inch ;分辨率: 1600x 1200(1.9MP), 幀速率: 20fps, 300萬像素 | |||
攝影攝像接口 | 0.5X/0.65X CTV,采用C型接口,可調焦 | |||
PC | 聯(lián)想電腦揚天M4000g(15-10400 8G IT)21.5英寸 | |||
軟件 | 舜宇MS精密測量軟件,實時顯示數(shù)顯表三坐標數(shù)據(jù),配置圖像測量模塊, 支持自動尋邊,倍事自動識別等功能, 定制化終端數(shù)據(jù)上傳功能 | |||
其他附件 | 起偏境插板,360旋轉式檢偏鏡插板;反射用干涉濾色片組;高精度測微尺;DIC組件;標定片 |
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