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成都半導(dǎo)體檢查金相顯微鏡
成都MX6R晶圓半導(dǎo)體顯微鏡

分類:半導(dǎo)體檢查金相顯微鏡 發(fā)布時(shí)間:2020-07-03 16571次瀏覽

MX6R列晶圓半導(dǎo)體顯微鏡各項(xiàng)操作根據(jù)人機(jī)工程學(xué)設(shè)計(jì),減輕操作者的使用疲勞。其模塊化的部件設(shè)計(jì),可對(duì)系統(tǒng)功能進(jìn)行自由組合。涵蓋明場(chǎng)、暗場(chǎng)、斜照明、偏光、DIC微分干涉等多種觀察功能,可根據(jù)實(shí)際應(yīng)用,進(jìn)行功能選擇。

成都MX6R晶圓半導(dǎo)體顯微鏡

MX6R列晶圓半導(dǎo)體顯微鏡各項(xiàng)操作根據(jù)人機(jī)工程學(xué)設(shè)計(jì),減輕操作者的使用疲勞。其模塊化的部件設(shè)計(jì),可對(duì)系統(tǒng)功能進(jìn)行自由組合。涵蓋明場(chǎng)、暗場(chǎng)、斜照明、偏光、DIC微分干涉等多種觀察功能,可根據(jù)實(shí)際應(yīng)用,進(jìn)行功能選擇。

產(chǎn)品詳情

寬視場(chǎng)鉸鏈?zhǔn)饺坑^察筒

正像鉸鏈三目觀察筒,所成像的方位與物體實(shí)際方向相同,物體移動(dòng)的方向跟像面移動(dòng)的方向相同,便于觀察與操作.

大行程移動(dòng)平臺(tái)設(shè)計(jì)

采用6寸平平臺(tái)設(shè)計(jì),行程158×158mm,可適用于對(duì)應(yīng)尺寸的晶圓或FPD檢測(cè),也可用于小尺寸樣品的陣列檢測(cè)。

高精度物鏡轉(zhuǎn)換器

轉(zhuǎn)換器采用精密軸承設(shè)計(jì),轉(zhuǎn)動(dòng)手感輕巧舒適,重復(fù)定位精度高,物鏡轉(zhuǎn)換后的同心度也得到較好的控制。

穩(wěn)重的機(jī)架結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)

工業(yè)檢測(cè)級(jí)顯微鏡鏡體,低重心、高剛性、高穩(wěn)定性金屬機(jī)架,保證了系統(tǒng)的抗震能力與成像穩(wěn)定性。

其前置低手位粗微調(diào)同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu),內(nèi)置100-240V寬電壓變壓器,可適應(yīng)不同地區(qū)的電網(wǎng)電壓。底座內(nèi)部設(shè)計(jì)有風(fēng)循環(huán)散熱系統(tǒng),長(zhǎng)時(shí)間使用也不會(huì)使機(jī)架過熱。

MX6R成都半導(dǎo)體顯微鏡配置參數(shù)

型號(hào) 

MX6R(反射)

MX6RT(透反射)

可選擇的觀察方法 

明場(chǎng)/明暗場(chǎng)/偏振光/DIC

光學(xué)系統(tǒng) 

無限遠(yuǎn)色差校正光學(xué)系統(tǒng)  

目鏡 

PL10X/22平場(chǎng)高眼點(diǎn)目鏡 

觀察筒 

正像觀察筒,25°鉸鏈?zhǔn)饺浚止獗?,雙目:三目=100:0或0:100

物鏡 

LMPlan無限遠(yuǎn)長(zhǎng)工作距明場(chǎng)金相物鏡5X、10X、20X、50X(選配:2X、100X)

LMPlan-BD無限遠(yuǎn)長(zhǎng)工作距明暗場(chǎng)金相物鏡5X、10X、20X、50X(選配:2X、100X)

轉(zhuǎn)換器 

5孔內(nèi)傾式轉(zhuǎn)換器,帶DIC插槽 

載物臺(tái) 

6”三層機(jī)械移動(dòng)平臺(tái),行程158x 158mm,右手位X、Y移動(dòng)手輪,配離合器手柄,可快速移動(dòng)

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透射行程:100x100mm

玻璃工作平臺(tái)

顯微鏡鏡體 

粗微調(diào)同軸、粗調(diào)行程33mm,微調(diào)精度0.001mm,,帶粗調(diào)機(jī)構(gòu)上限位及松緊調(diào)節(jié)裝置。內(nèi)置90-240V寬電壓變壓器,

單路電源輸出

雙路電源輸出

反射照明器系統(tǒng) 

帶可變視場(chǎng)光闌與孔徑光闌,均可調(diào)中心;帶濾色片插槽與偏光裝置插槽;帶明暗場(chǎng)切換機(jī)構(gòu),預(yù)置中心

采用數(shù)字調(diào)光,具有光強(qiáng)設(shè)定與復(fù)位功能

光強(qiáng)連續(xù)可調(diào)

透射照明系統(tǒng) 

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單顆大功率5W LED,白色,光強(qiáng)連續(xù)可調(diào)。N..A.0.5聚光鏡,帶可變孔徑光闌 

相關(guān)標(biāo)簽: 金相顯微鏡
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